光刻机

EUV光刻太贵了：替代技术正加快速度转正

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售价25亿的“电老虎” 下代EUV光刻机功耗飙到200万瓦

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0.768nm堪比两个硅原子！美国造出全球最高分辨率的光刻机

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ASML拼命研制的新款高NA EUV光刻机：或是最后一代

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26亿一台！ASML全新光刻机准备中：Intel提前锁定冲击2nm工艺

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国产“28nm光刻机”重大进展！交付0号样机、1号机

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